マイクロスコープ何でも辞典

知ってるようでじつは知らない?! マイクロスコープなんでも辞典


Question 透明体、鏡面体の観察のコツ(暗視野観察)

Answer

金属体の段差や傷、透明体の埃や異物、鏡面体上の埃、異物の検出を通常の照明で行うと、反射や映り込みが発生して観察ができないことがあります。
1つの方法として暗視野観察という方法があります。(詳細は「暗視野観察とは」をご参照ください。)
背景を黒にしてローアングルLEDリング照明を使うと簡易の暗視野観察ができます。

金属に段差や傷があればその部分が白く光ります。

暗視野照明

透明体(レンズ)上の埃や異物も白く光ります。
透明体

鏡面体(シリコンウェハー)上の埃も白く光ります。
鏡面体

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