マイクロスコープ何でも辞典

知ってるようでじつは知らない?! マイクロスコープなんでも辞典


Question マイクロスコープで高さ、厚みを測る方法

Answer

もっとも簡単な方法はマイクロスコープとデジタルインジケータと組み合わせる方法です。
レンズはできるだけ被写界深度の浅いものを選びます。
上下させる機構は微動調整機能の付いている方が精度高く測定できます。
デジタルインジケータ
   
1.厚み測定
透明または半透明の膜、シートが基材に密着している対象物が測定できる条件となります。

右の対象物は透明の保護シートが商品に密着しています。

シートが薄いので600倍で観察しました。
WIFIルーター

   
基材(樹脂)に焦点を合わせて
インジケータの値をゼロにします。
シートの上面に焦点を合わせて
インジケータの値を読みます。
これが厚みになります。(107μm)
デジタルインジケータ
   
2.高さ測定

1画面で段差部が映し出せる対象物が測定できる条件となります。

左写真のICの高さを測定します。

十分な高さがあるので200倍で観察しました。
高さ測定
   
基板に焦点を合わせて
インジケータの値をゼロにします。
ICの上面に焦点を合わせて
インジケータの値を読みます。
これが高さになります。(2.39mm)
インジケータ
   
弊社ではデジタルインジケータ付スタンド(ハイトゲージ)を2種類ご用意しております。

デジタルインジケータ付スタンド
インジケータ付粗微動スタンド
GRS-1C125XB
インジケータ付小型粗微動スタンド
GR-S6C125XB



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