マイクロスコープ何でも辞典

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Question 高さ(Z軸)を測定する方法

Answer

高さ測定(Z軸測定)システムをご紹介いたします。
1.システム構成
マイクロスコープに Z軸ステージ と モーターコントローラを設置します。
(マイクロスコープ(弊社製)、Z軸ステージ(中央精機様)、どちらも汎用品です。)
Z軸測定 Z軸測定

このシステムと三谷商事様の焦点合成ソフトと3D作成ソフトを使います。
   
2.操作方法
(1)焦点合成


焦点合成
   
(2)3D画像を作成

マイクロスコープで合成した写真とモーターの位置情報を合わせて3D画像にします。
3D画像
Z軸 Z軸
マイクロスコープからみると、垂直面もしくは垂直に近い面は見えないので壁面は少し安定性にかけますが、高さ測定は問題なくできます。

壁面に傾斜が有る場合は比較的きれいな3D影像ができます。

例としてダンボールの凹みを3D画像にします。
3D
ここから任意の寸法、断面形状を割り出せます。
下記の黄色いラインが任意で引いたラインです。

3D
   
3D
測定機ではないので、精度はありません。
Z軸テーブルの最小ステップ(今回は0.5μ)が分解能になります。
使い方次第で、ある程度の精度は出せます。




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